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| The Central News Agency 中央通訊社
2021年7月30日 週五 下午4:26·2 分鐘 (閱讀時間)
(中央社記者張建中新竹30日電)晶圓代工廠台積電透過改良濾網結構,延長濾網使用壽命,至今年6月共減少濾網廢棄物3251公噸,創造超過新台幣16億元減廢效益。
台積電表示,氣態分子汙染物(AMC)為環境中沉降於晶圓表面形成單分子層薄膜的氣態化學汙染物質,由於半導體製程線寬隨著技術進步日益縮小,對於無塵室生產環境的潔淨度要求也趨於嚴格,導致濾網用量增加。 ... |
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